檢漏過(guò)程：超聲波檢漏儀先將被檢件與真空系統(tǒng)抽至10（-1）~10（-3）Pa，加液氮然后接通加熱器，使鈀欄加熱到700~800℃，關(guān)閉閥門3.用氫氣噴吹被檢件可以部位，當(dāng)氫氣噴吹到漏孔上時(shí)，氫氣變通過(guò)漏孔進(jìn)入真空系統(tǒng)，并通過(guò)鈀欄進(jìn)入電離計(jì)規(guī)管，此時(shí)電離計(jì)便只是處壓力升高。注意噴吹應(yīng)該是自上而下地進(jìn)行，以免出現(xiàn)虛假信號(hào)。停止噴吹后，打開閥門進(jìn)行抽氣，于是進(jìn)入規(guī)管的氫氣有通過(guò)鈀欄被抽走，直到排完為止。然后關(guān)閉閥門3和4，更換被檢兩件，在打開閥門3將新的被檢零件抽到工作壓力，打開閥門4，并關(guān)上閥門3，就又可以進(jìn)行檢漏了。
另外，氫氣源是用來(lái)監(jiān)視鈀欄在加熱狀態(tài)下通過(guò)氫氣的能力的。超聲波檢漏儀這個(gè)源可以用鎢絲做成，鎢絲加熱后便放出氫氣。
必須注意的是，超聲波檢漏儀電離規(guī)管內(nèi)的靜態(tài)真空度要保持在10（-5）Pa范圍內(nèi)，以提高靈敏度。一般這種方法的*小可檢子啊10（-4）~10（-8）Pa*L/S。使用氫氣時(shí)，要特別注意**。
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