*新的質譜檢漏儀基于高速低壓蒸汽作為工作介質(油)氣動量輸送泵,油擴散泵。超聲波檢漏儀的主要觀點是氦質譜檢漏儀對高真空設備,其主要特點是提取能力大、寬調速范圍和煙氣(包括惰性氣體)沒有選擇性,結構簡單,無機械運動部件,操作簡單,維修方便,使用壽命長,由于擴散泵油冷卻方式不同,可分為兩種形式,即空氣冷卻和水冷卻,大多數用于氦質譜檢測器風冷油擴散泵。超聲波檢漏儀油擴散泵必須匹配前面當使用真空泵
油擴散泵的工作過程是在真空泵油在鍋里油加熱到沸騰溫度(200℃),產生大量的石油蒸汽導管的各種定向高速噴嘴。
由于擴散泵的工作原理工作必須20 ~ 45分鐘,停止冷卻20 ~ 45分鐘,超聲波檢漏儀它帶來了很多麻煩的泄漏檢測工作。現在用渦輪分子泵代替一般擴散泵的氦質譜檢漏儀,其優點是:
1在質譜儀室無碳氫化合物污染
2減少儀器啟動和通知的時間
3,因為渦輪分子泵相同的壓縮比,氦是可以獲得穩定的泄漏率
4可以安裝在任何位置,因此可以用在一個節省空間的裝置
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