質譜是不同質量的粒子在電磁場中運動后，測振儀按照質量大小將它們一次分開排列的技術。利用質譜原理制造的儀器叫質譜儀或質譜計。專為檢漏用的質譜儀叫質譜檢漏儀。由于多數示漏氣體選擇用氨氣，所以允許把分辨率調試得較低而靈敏度調得很高。氦質譜檢漏儀是目前國家工人、測振儀用得*廣，靈敏度很高的一種檢漏儀器，其中用得*多的是90°和180°磁偏轉質譜儀；近些年來，四極質譜計在檢漏中也得到了較多的應用。20世紀60年代，我國氦質譜檢漏儀性能已達到******。在以后的四十多年中，使用檢漏技術的應用水平有了長足發展，測振儀儀器的自動化、小型化、可靠性等也有了很大的提高，不僅滿足了國內需要，而且還銷往國外。氦質譜檢漏儀除靈敏度高外，還具有適應范圍廣，定位定量準確、無毒、**、反應速度快等特點
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