系統的真空度有關。真空度越高，這種方法的靈敏度除了與所用的示漏物質有關外。超聲波檢漏儀靈敏度也越高。這種方法是利用系統上現有的真空規來進行檢漏的非常方便，目前真空系統在調試、運行過程中廣泛采用的一種檢漏方法。
打開相應的真空計進行真空丈量。當用示漏物質噴射或涂覆于容器外壁可疑漏氣部位時，超聲波檢漏儀當真空系統抽到一定的真空度后。示漏物質就會通過漏孔進入真空系統中。由于規管對各種氣體的靈敏度不一樣，超聲波檢漏儀而所選的示漏物質與系統中剩余氣體/空氣相比，其靈敏度相差很大，所以真空計的指示就會發生明顯的變化，因而就指示了漏孔的尋在和漏孔的位置。一般說來，噴吹示漏物質比涂覆方法好，以免器壁外表面的污染物堵塞漏孔。此外氣體示漏物質比液體示漏物質好，因為液體不只可能被吸附在漏孔內堵塞漏孔，而且還會對漏孔內部造成污染。 常用的示漏物質有：氫、二氧化碳、丁烷、丙酮、酒精等。
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